型號：

多通道質子流量計控制系統(tǒng)--GSL-LCD(控制面板為觸摸屏)20160805

描述：產品簡介：GSL-LCD是一款多路質量流量計控制系統(tǒng)，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間

廠商性質
經銷商
更新時間
2024-03-07
訪問量
154

詳細介紹

產品簡介： GSL-LCD 是一款多路質量流量計控制系統(tǒng)，其質量流量計和不銹鋼混氣罐都安裝在一個移動柜里，移動柜可以承重 1000Lbs，所以在與本公司大多數管式爐配套使用時，可將管式爐置于移動柜上以節(jié)約空間。各通道氣路的流量設定和狀態(tài)顯示都集中在一 6"的觸摸屏上，同時可以實時查看氣體流量曲線和數據。此款設備廣泛的用于材料界中CVD 實驗和各種材料的退火實驗。

產品型號

GSL-LCD(控制面板為觸摸屏）

技術參數

功能

雙通道

三通道

四通道

五通道

質子流量控制器

工作溫度： 5~45ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重復精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路:1~199 SCCM

二路:1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度： 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力:3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性 : ± （ 0.5-1.5 ） %F.S. 重復精

度: ±0.2%F.S.

流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM

注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC

壓力: 3x106 Pa

精度: ±1.5% FS

線性: ±（0.5-1.5）%F.S.

重復精度: ±0.2%F.S. 流量范圍:

一路: 0~100 SCCM

二路: 1~199 SCCM

三路: 1~199 SCCM

四路: 1~499 SCCM 五-九路可按照客戶要求定制

產品規(guī)格	外形尺寸： 600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H)
輸入電源	AC 220V/50Hz 單相
功率	23W
	各通道的氣路設定和查看都集中在一 6"的觸摸屏上 RS485 通訊接口和 PC 控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制
PLC 觸摸屏
機械壓力表	有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid)
針閥	316 不銹鋼
通氣管道	內部連接管道為 1/4”不銹鋼管外部通氣管道為 1/4”聚四氟管
混氣罐	Φ80X120mm
截止閥及配件	316 不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管