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產品簡介: GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀是一款緊湊的大氣離子表面處理噴射系統(tǒng), 主要由射頻發(fā) 生器、離子束頭組成。噴射的離子束流能在較低的溫度和沒有真空條件的環(huán)境下活化和清理材料(如單晶 片、光學元件、塑料等) 表面雜質, 且清理速度迅速。本機是為獲得高質量的外延薄膜或光學涂層進行預 先表面處理的合適的工具選擇。 GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀具有一個樣品臺, 將樣品固定在樣品 臺上后可進行 X、Y、Z 三個方向上一定范圍內的連續(xù)移動清洗,且清洗過程中離子束不會發(fā)生抖動,清理 后的樣品表面質量均勻。
產品名稱 | GSL-1100X-PJF-A 等離子表面處理儀 |
產品型號 | GSL-1100X-PJF-A |
主要特點 | 1、高速清理物件表面,操作簡單、安 全。 2、無需真空和腔室環(huán)境。 3、小巧實用、成本低。 4、重量輕、結構緊湊。 |
5 、已通過 CE 認證。 | |
技術參數 | 1、電源: 110/220V 50Hz/60Hz <1000W 2、輸出頻率: 20KHz-23KHz 3、離子束頭: 圓頭 10mm-12mm ,矩形頭 15mm-18mm 4、輸入氣壓: 0.275MPa(min) |
5、工作氣氛:空氣、氮氣、氬氣、混合氣體,但不要使用易燃易爆氣體 6、等離子工作壓力: 0.048MPa-0.068MPa 7、工作環(huán)境:溫度<42℃,濕度≤40%RH 8、工作臺:自動控制三維工作臺, X 、Y 軸電動調節(jié), Z 軸手動調節(jié) 9、真空吸盤: ?100mm 10 、X 軸行程: 200mm 11 、Y 軸行程: 100mm | |
12 、Z 軸行程: 50mm | |
產品規(guī)格 | 尺寸: 600mm×600mm×1250mm;重量: 55kg |